作者：章丹,黄见秋,王立峰 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2017年第10期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2017100040 DOC编号：DOCCGJS2017100049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了一种新型柔性电容式湿度传感器。该柔性电容式湿度传感器采用液晶高分子聚合物(LCP)作为衬底，金属铜(Cu)作为叉指电极，聚酰亚胺(PI)作为湿度传感器的湿敏介质。LCP衬底的应用使得该传感器具有良好的柔性和可弯曲性。该柔性湿度传感器与传统硅基湿度传感器相比较具有成本低廉、结构简单、制作方便等优点。该柔性湿度传感器在25℃下的平均灵敏度为0.04%p F/%RH，最大回滞为&#177；4.16%RH，其平均灵敏度在25℃~70℃范围内受温度影响较小。在25℃下其响应时间和恢复时间分别为36 s和39 s。该柔性湿度传感器可以应用于环境湿度检测、人工电子皮肤系统和可穿戴设备等领域。

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