作者：王津楠,陈凤东,刘炳国,甘雨,刘国栋 单位：中国测试技术研究院 出版：《中国测试》2017年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSYCS2017010150 DOC编号：DOCSYCS2017010159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为实现光谱共焦位移传感器的小型化、低功耗和高精度，在设计过程中选择体积小、耗电量小的白光LED作为传感器的光源，并使用光纤耦合器代替复杂的分光棱镜式光学系统结构。色散镜头采用消色差透镜与非球面透镜组合的方式，在使用较少透镜数量的情况下达到较好的像差校正能力。同时结合光强归一化等数据处理方法，消除白光LED光源光谱光强分布不均匀等因素对测量精度造成的影响，得到准确、稳定的峰值波长与位置间的对应关系。通过双频激光干涉仪对系统进行标定和测量，实验结果表明使用435~655 nm波段，系统测量范围可以达1.7 mm，平均测量精度1.8μm，满足一定的测量需求。

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