《微机电系统传感器封装用环氧绝缘材料的制备与性能》PDF+DOC
作者:毕洁琼,刘金刚,王松松,周佃香,任卫卫,张以河
单位:桂林电器科学研究所
出版:《绝缘材料》2017年第07期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJYCT2017070030
DOC编号:DOCJYCT2017070039
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通过选用低熔体黏度环氧树脂与酚醛树脂固化剂、潜伏性固化促进剂、高球形度SiO_2微粉以及复合型偶联剂等,采用双螺杆挤出机制备了SiO_2负载量达到90%的EMC材料,并对其性能进行测试和分析。结果表明:所制备的EMC材料在175℃工艺温度下具有优良的熔体流动性与良好的固化性,螺旋流动长度为105cm,凝胶化时间为30 s。环氧固化物具有优良的热性能、力学性能与绝缘性能,玻璃化转变温度(T_g)为123℃,弯曲强度为160 MPa,弯曲模量为24.4 GPa,体积电阻率为3.2×;10~(15)Ω·;cm。采用制备的EMC材料封装的微机电系统(MEMS)传感器芯片整体未出现翘曲、分层等现象。
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