作者：魏榕山,黄海舟 单位：中国半导体行业协会 出版：《中国集成电路》2017年第08期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJCDI2017080080 DOC编号：DOCJCDI2017080089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 基于斩波技术和开关电容结构，研究并设计一款用于MEMS压力传感器的低噪声、高精度读出芯片。在经典三运放结构的基础上增加了斩波开关，并在传统自调零结构上进行改进，引入一种开关电容滤波器，实现对失调电压的消除。采用SMIC 0.18μm CMOS工艺，对所设计的电路进行仿真验证。仿真结果表明，在不同增益情况下，输出端的增益误差均小于0.1%；在0~650Hz范围内，等效输入噪声小于600nV，满足MEMS压力传感器输出信号的分辨率的要求。

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