《基于光谱共焦位移传感器的非接触式回转误差测量系统》PDF+DOC
作者:蓝河,雷大江,钱林弘,夏欢,孙树磊
单位:中国机械工程学会;北京机床研究所
出版:《制造技术与机床》2017年第03期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZJYC2017030410
DOC编号:DOCZJYC2017030419
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为了实现50 nm左右回转误差测量,设计了一种新型非接触式测量系统,该系统采用光谱共焦位移传感器,通过反向法获得回转轴系径向回转误差、标准球圆度误差。标准球圆度误差测量值与标称值的最大差值为5 nm,表明该测量系统的测量精度能够满足设计要求。
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