作者：王俊,李媛媛,卢文科 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2017年第05期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2017050050 DOC编号：DOCCGJS2017050059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 声表面波SAW(Surface Acoustic Wave)器件能进行无源无线通信，为微间隙等特殊环境下物理量的测量提供了新的解决思路。研究设计了一种基于声表面波延迟线的接触应力传感器。围绕微间隙环境，研究了声表面波器件的结构类型，并确定压力监测的技术方案；根据设计原理，设计一种新型声表面波传感器，并利用有限元分析法对压电基片进行应力仿真；将设计出的传感器进行实验测试并提出温度补偿。通过对声表面波传感器设计的探究，验证了利用声表面波传感器实现微间隙压力监测的可行性。

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