作者：曹小荣,胡明江 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2016年第11期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2016110030 DOC编号：DOCYBJS2016110039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了快速准确检测矿井中的甲烷气体浓度，以直接沉淀法制备了不同含量Ce O2的CeO_2-Co_3O_4纳米晶粒。利用掩膜法将制备的CeO_2-Co_3O_4纳米晶粒镀膜于氧化硅绝缘层表面形成敏感薄膜，采用标准MEMS工艺制作了一种薄膜型甲烷传感器。采用X射线衍射仪表征了CeO_2-Co_3O_4纳米晶粒的相组成和微观形貌，利用全自动程序化学吸附仪分析了CeO_2-Co_3O_4纳米晶粒对甲烷的吸附机理。在气体传感器静态测试系统上，测试了甲烷传感器灵敏度、湿度、温度、动态响应、抗干扰和长期稳定性等特性。结果表明：以Ce_30为敏感薄膜的甲烷传感器灵敏度为98.3%，动态响应时间为11 s，恢复时间为8 s。在矿井中连续使用12个月后，灵敏度衰减了8.5%。表明该甲烷传感器可实现矿井中甲烷气体在线检测。

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