作者：孔慧,李传宇,周连群,姚佳,唐玉国,郭振,张威 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2017年第01期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2017010210 DOC编号：DOCGXJM2017010219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对液体流速测量领域中微型流量传感器高品质因数、高灵敏度的性能要求。本文设计一种双端增强型薄膜谐振结构实现Lamb波传感器的高品质因数，利用传感器反对称模式(A01模式)在薄膜-液体界面处的消逝波实现液体流速矢量测量。所制作的双端增强型薄膜谐振Lamb传感器A01模式的主峰品质因数为703，A01模式的频率移动量与液体流速大小存在线性关系，频率移动方向与液体流动方向存在对应关系。流速实测灵敏度约为270 Hz/mm/s，传感器稳定性噪声小于0.2Hz，流速最低检测极限值(LOD)为2.2μm/s，流量最低检测极限值(LOD)为18.3nL/min。结果表明，双端增强型薄膜谐振Lamb波传感器可以实现液体流速高灵敏度矢量测量。

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