作者：邢万里 单位：中国计算机自动测量与控制技术协会 出版：《计算机测量与控制》2017年第10期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJZCK2017100790 DOC编号：DOCJZCK2017100799 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 加速度传感器已经广泛应用于军事、工业、环境监测等领域，已经成为热点的研究对象，但是器件的小型化与可靠性成为限制该技术发展的重要瓶颈；因此，针对新型硅基MEMS加速度传感器的信号处理电路小型化的问题，提出了一种与MEMS技术完全兼容基于CMOS工艺的片上集成运算放大器电路；通过提取分析相关加速度传感器的性能参数，设计低功耗、低噪声且符合精度等特殊要求的前置放大器；同时对集成仪表放大器的主要电路特性和功耗进行了仿真分析；从仿真结果看，设计的三运放仪表放大器的关键参数—共模抑制比可以到达101dB，整体性能良好；完成了对仿真结果的版图设计和验证，继而在华润上华0.5μm CMOS标准工艺线上进行了流片，完成了芯片的封装测试，该测试结果显示运放的增益能够达到42dB，功耗仅为5.25mW，符合预期的设计目标。

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