作者：柳林刚,李荣宽,赵路坦 单位：航天科技集团公司九院七七一所 出版：《微电子学与计算机》2016年第12期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWXYJ2016120270 DOC编号：DOCWXYJ2016120279 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了新的一种用于MEMS压力传感器的电容数字转换方法.与传统的将电容值转换成电压值的方法不同，该方法是将微弱电容信号转换为时间间隔，然后通过计数器量化、数字滤波器处理，得到高精度、宽输入范围的电容读出电路.这种方法下的电路结构简单，受供电电压影响较小，具有很高的线性度.在cadence环境下，基于TSMC标准的BCD0.25μmCMOS工艺模型，对电路进行设计和仿真.该电路输入范围可达8pF，分辨率为4fF。

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