《单排差动结构的新型纳米时栅位移传感器》PDF+DOC
作者：彭凯,于治成,刘小康,郑方燕,蒲红吉
单位：中国仪器仪表学会
出版：《仪器仪表学报》2017年第03期
页数：7页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFYQXB2017030280
DOC编号：DOCYQXB2017030289
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在双排结构纳米时栅位移传感器的研究基础上，提出了一种单排差动结构的新型纳米时栅位移传感器。通过直接构造一个匀速运动的交变电场来产生行波信号，解决了双排结构所具有的串扰问题和安装问题；采用差动感应极片来拾取信号，可有效地消除共模干扰。用微纳加工工艺制作了一种多层薄膜的单排差动结构的纳米时栅传感器样机并进行了性能测试，最终在200 mm的量程范围内取得了±；150 nm的测量精度。对比双排结构的纳米时栅传感器，这种新型的纳米时栅传感器测量精度、信号稳定性及抗干扰能力得到明显的提高，并且在尺寸减小的同时拓展了有效量程，因此在产品化的过程中更具有应用前景。
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