作者：王雁,刘梦然,张国军,李静 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2017年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2017010060 DOC编号：DOCYBJS2017010069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对低频水声信号的探测需求，设计了一种MEMS低频水声电容传感器。为适应水下工作环境，改善振膜的承压性，将电容敏感结构整体置于硅油中，同时在振膜上开设6个对称均匀分布的小孔，以降低硅油压膜阻尼。文中介绍了MEMS低频水声电容传感器的工作原理，通过机械建模结合ANSYS Workbench有限元仿真分析，确定了电容敏感结构的结构参数及性能指标。电容敏感单元采用了C-SOI加工工艺方法，传感器振膜和空腔分别定义在SOI片和硅片上。MEMS低频水声电容传感器的谐振频率为5 498.6 Hz，灵敏度为-148.4 d B。

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