作者：陈锡侯,曹焕,武亮,朱海 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2017年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2017010050 DOC编号：DOCCGJS2017010059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了满足恶劣环境下精密位移测量的需求，解决现有测量方法在大量程和高精度之间无法兼顾的难题，克服小栅距造成加工难度大的缺点，提出一种基于磁导调制的驻波合成行波的新方法，研究一种新型直线式时栅位移传感器。通过对传感器测量原理的理论推导，设计了传感器的基本结构，应用三维磁场仿真软件Ansoft Maxwell对传感器进行建模与仿真，采用快速傅里叶变换(FFT)对仿真结果进行误差分析与溯源，根据分析结果对模型结构优化并进行仿真实验验证；根据优化模型制作传感器实物并搭建实验平台进行实验验证。实验结果显示：在200 mm测量范围内，测量精度达&#177；600 nm，且传感器制造简易，成本低廉，在实际工程中具有重要的实用价值。

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