作者：陈忠,张宪民,周晓峰 单位：中国机械工程学会 出版：《机械工程学报》2013年第09期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXXB2013090010 DOC编号：DOCJXXB2013090019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 随着微机电系统(Micro-electro-mechanical systems，MEMS)越来越复杂，对微装配、微操作的微力测量要求越来越高。根据微夹持视觉导航与夹持力传感的要求，研究一种面向微夹持器的柔顺结构视觉力传感单元。该传感器单元与微夹持器采用结构一体化设计思想，加工简易，可在同一视场内实现视觉导航与夹持力传感。通过提出集成该视觉力传感单元的微夹持器构想，推导该视觉力传感单元的力-位移理论关系，建立基于散斑数字图像相关(Digital image correlation，DIC)方法的精密位移测量方法，构建该柔顺结构力传感单元。在此基础上，基于柔顺结构力传感单元的放大模型，建立验证力传感单元的力-位移关系的试验系统，进行传感单元的力-位移关系试验研究。研究表明，所提出的柔顺结构视觉力传感单元测量性能达到预期要求。

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