《SBA-15纳米薄膜对QCM湿度传感器的性能影响》PDF+DOC
作者:张燕,王生钊,祝烨,张杰,刘忠超
单位:南阳理工学院
出版:《南阳理工学院学报》2017年第04期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFNYLG2017040250
DOC编号:DOCNYLG2017040259
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孔道表面具有丰富Si-OH的有序介孔氧化硅材料SBA-15薄膜修饰QCM可大幅度提升湿度传感器的灵敏度、响应速度及检测限。本文建立了基于SBA-15的QCM湿度传感器的三维有限元精确仿真模型,分析了纳米湿敏薄膜在电极上的分布状况对传感器的电学性能参数的影响,研究结果对于纳米湿敏薄膜的成膜工艺及新型QCM湿度传感器的优化设计与制造提供了重要的理论参考依据。
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