作者：马爱民,马忠臣 单位：黑龙江省机械科学研究院;黑龙江省机械工程学会 出版：《机械工程师》2013年第06期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXGU2013060020 DOC编号：DOCJXGU2013060029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 超精密加工的应用日益广泛，其加工精度和表面质量要求都很高，需要相应的超精密检测手段予以保证。激光干涉仪、光栅、X射线干涉仪、扫描探针显微术、电容电感传感器及F-P干涉仪等可以实现纳米测量并已经商品化；电容传感器、X射线干涉仪、F-P干涉仪等少数仪器分辨率可达或接近皮米级，但因其测量范围通常较小，在应用中受一定限制。文中针对几种实际应用比较成熟的激光干涉仪，就其应用领域、技术参数、功能特点等予以介绍。

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