《粒子碰撞噪声检测仪校准与测量不确定度评定》PDF+DOC
作者:邢荣欣,李洁,赵昭,王酣
单位:中国航空工业集团公司;北京长城计量测试技术研究所
出版:《计测技术》2013年第S1期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHKJC2013S10720
DOC编号:DOCHKJC2013S10729
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粒子碰撞噪声检测仪是微电子元器件可靠性筛选的重要设备,用于检测封装器件内的多余粒子。本文在分析粒子碰撞噪声检测仪测试原理的基础上,给出了校准方法。并结合校准实例,对测量不确定度进行了评定。
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