作者：贾雅娜,王文 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2017年第09期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2017090020 DOC编号：DOCCGJS2017090029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为实现高灵敏度、低温漂的高性能电流传感器，提出将声表面波技术与磁致伸缩效应相结合的电流检测方法，分析了其敏感机理并改善其温度特性。这种声表面波电流传感器采用128&#176；YX-Li Nb O3作为压电基片，表面覆盖SiO_2薄膜来改善器件温度稳定性，并溅射超磁致伸缩Tb Dy Fe薄膜以响应电流。在电流作用下，Tb Dy Fe薄膜会发生磁致伸缩效应和ΔE效应，引起声表面波相速度的改变。结合层状介质中声传播理论，分析了给定电流下层状结构中声表面波的传播特性，特别分析了Tb Dy Fe和SiO_2膜厚对传感器响应的影响。计算结果表明，Tb Dy Fe和SiO_2薄膜厚度分别为0.5μm、2μm时，该声表面波电流传感器具有最大检测灵敏度58.2 k Hz/A，有良好温度稳定性和较高的灵敏度，从而为高性能声表面波电流传感器的研制奠定理论基础。

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