作者：胡凯,侯文玫,句爱松,董洪波,杨召雷 单位：中国兵工学会;北京理工大学;中国北方光电工业总公司 出版：《光学技术》2013年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJS2013010060 DOC编号：DOCGXJS2013010069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了一种用于在线检测纳米定位平台的全自动六维纳米测量系统。提出了整波长干涉测量方法，可以避免激光干涉仪的非线性影响，使系统能够得到准确校准，达到纳米级精度。该测量系统可以测定6个自由度，三维直线运动测量范围为100μm&#215；100μm&#215；100μm，分辨率能够达到1nm以下。

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