《梳齿式结构电容式加速度传感器设计》PDF+DOC
作者:周文萌
单位:黑龙江省创联文化传媒有限公司
出版:《科技创新与应用》2017年第12期
页数:1页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCXYY2017120550
DOC编号:DOCCXYY2017120559
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选择梳齿式差分电容结构对电容式加速度传感器进行设计,阐述其优势和原理,并选用相匹配的传输电路,同时根据数据曲线对敏感质量块和挠性梁结构参数的选择提供参照。
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