作者:谭苗苗 单位:黑龙江省机械科学研究院;黑龙江省机械工程学会 出版:《机械工程师》2017年第06期 页数:2页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFJXGU2017060130 DOC编号:DOCJXGU2017060139 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《能耐高温的合金薄膜压力传感器和变送器》PDF+DOC1993年第04期 彭士元,欧阳左群 《SiC高温压力传感器电容芯片设计与仿真》PDF+DOC2015年第03期 李赛男,梁庭,喻兰芳,李颖,熊继军 《高温压力传感器现状与展望》PDF+DOC2002年第04期 张为,姚素英,张生才,刘艳艳,曲宏伟 《碳化硅高温压力传感器设计及工艺研究》PDF+DOC2020年第05期 肖淼,任向阳,李振波,张治国,李新 《基于MEMS压力传感器的研究》PDF+DOC2005年第02期 颜鹰,史铁林 《基于压阻效应的厚膜力敏材料及传感器》PDF+DOC1999年第05期 马以武,宋箭,常慧敏 《多晶硅敏感技术(连载五)》PDF+DOC1994年第05期 王善慈 《通用型高温压阻式压力传感器研究》PDF+DOC2005年第20期 王权,丁建宁,王文襄,薛伟 《基于AIN绝缘的多晶硅高温压力传感器设计》PDF+DOC2008年第01期 王云彩,孙以材,陈杰,耿青涛 《LC谐振式压力传感器的高温关键参数研究》PDF+DOC2014年第10期 郑庭丽,赵卫军,梁庭,洪应平,任重,李赛男,熊继军
  • 研制高温恶劣环境适用的压力传感器具有重要的工程实际意义。文中设计了以蓝宝石为弹性膜片,溅射合金薄膜为应变电阻的耐高温压力传感器。通过有限元软件计算分析了弹性膜片的应力应变分布,并对膜片厚度进行了优化设计。

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