作者: 单位:中国电子科技集团公司第21研究所 出版:《微特电机》2013年第06期 页数:1页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFWTDJ2013060210 DOC编号:DOCWTDJ2013060219 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 专利名称:一种微发电机及其制备方法专利申请号:CN201110164362.0公开号:CN102290968A申请日:2011.06.17 2011.12.21申请人:北京大学本发明提供一种微发电机,包括收集电极结构和驻极体结构,设置在收集电极结构和驻极体结构之间作为轴承的微型球,其中,所述收集电极结构包括:一衬底;设置在衬底上且与衬底绝缘的若干金属电极对;设置在衬底上与金属电极

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