《专利快讯》PDF+DOC
作者:
单位:中国电子科技集团公司第21研究所
出版:《微特电机》2013年第06期
页数:1页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFWTDJ2013060210
DOC编号:DOCWTDJ2013060219
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专利名称:一种微发电机及其制备方法专利申请号:CN201110164362.0公开号:CN102290968A申请日:2011.06.17 2011.12.21申请人:北京大学本发明提供一种微发电机,包括收集电极结构和驻极体结构,设置在收集电极结构和驻极体结构之间作为轴承的微型球,其中,所述收集电极结构包括:一衬底;设置在衬底上且与衬底绝缘的若干金属电极对;设置在衬底上与金属电极
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