作者：谷雨 单位：中国电子科技集团第四十五研究所 出版：《电子工业专用设备》2013年第08期 页数：9页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDGZS2013080020 DOC编号：DOCDGZS2013080029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了微电子机械系统(MEMS)技术的发展现状、加工工艺及产品市场。结合MEMS材料与加工技术，讨论了MEMS产品的封装技术及存在的问题，展望了MEMS技术的发展前景。

    📙 相关资料

    1. 《浅析车用传感器技术》PDF+DOC 安全、舒适、无污染、经济性一直是汽车工业和用户追求的目标，实现这些目标的关键在于汽车的电子化和智能化，先决条件则是各种信息的及时获取，这势必要求在汽车中大量采用各种传感器。...
    2. 《微电子机械技术的发展与现状》PDF+DOC 文章回顾了微电子机械技术的发展历程和研究内容 ，介绍了国内外一些具有发展前景的微电子机械系统 ，以期揭示未来的发展方向...
    3. 《发展中的微电子机械技术》PDF+DOC 本文对微电子机械技术的组成、发展及现状做了全面综述，客观地预测了微电子机械的应用前景，简要地介绍了微电子机械的加工机理及基本步骤。...
    4. 《微电子机械系统(MEMS)发展展望》PDF+DOC 本文对ＭＥＭＳ技术的发展概况进行介绍，对涉及的科学技术问题进行讨论，并扼要论述其重要意义...
    5. 《用碰撞式传感器测量水果的坚实度》PDF+DOC 用碰撞式传感器测量水果的坚实度李小昱，王为西北农业大学机电工程学院水果的坚实度是评价其品质特性的一个重要指标，此指标反映了水果挤压、剪切强度机械特性，并在适时收获，质量评估、加工工艺、市场销售、保鲜贮藏等各个环节中，都有广泛的应用。因此，水果坚实度的..。...
    6. 《军用微电子机械系统的应用及封装》PDF+DOC 扼要介绍微电子机械系统的特征，在军事装备和航空航天系统中的应用及其各种封装技术。...
    7. 《微电子机械系统/微光学电子机械系统的特性及应用》PDF+DOC 本文扼要介绍微电子机械系统和微光学电子机械系统的功能、主要产品的特性、可应用领域及未来发展趋势。...
    8. 《浅谈传感器的现状及发展》PDF+DOC 本文以信息化指导思想为主线，系统论述了微型传感器、智能化传感器、生物传感器、多功能传感器以及网络化传感器的技术现状、功能及发展前景，并穿插介绍了这几类传感器的应用实例。...
    9. 《新型传感器的发展前景》PDF+DOC 近年来传感技术迅速发展，传感器新原理、新材料和新技术的研究更加深入、广泛，传感器新品种、新结构、新应用不断涌现、层出不穷，现在新型传感器研发的重点领域主要有以下几个方面。一、基于MEMS技术的新型传感器微传感器(尺寸从几微米到几毫米的传感器)特别是以MEMS(微电子机械系统)技术为基础的传感器已逐步......
    10. 《基于MEMS器件的姿态航向参考系统设计及应用》PDF+DOC 在小型无人直升机的控制中，需要有高精度的运动测量信息作为导航状态输入，通常这些小型直升机因需要在特定的情况下工作而往往体积较小，因而也对导航设备提出了高精度、低功耗、微型化、低成本等多方面的苛刻要求。介绍一种基于MEMS器件的小型姿态航向参考系统的设计及实现，该系统已应用于小型无人直升机的导航控制中......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。