作者：柳晓飞,邓文怡,牛春晖,金博石 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2013年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2013040090 DOC编号：DOCCGQJ2013040099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计并搭建了一种光谱共焦位移测量系统。利用高斯拟合算法拟合每组实验数据，获取光谱响应曲线峰值对应的光波长值，采用Levenberg-Marquardt算法优化求解高斯函数的参数向量；利用双频激光干涉仪对系统进行标定，获得光波长和反射镜位移之间的对应关系；对整个系统作精度分析。实验结果表明：高斯拟合算法适合作为该位移测量系统的数据处理方法；用双频激光干涉仪对系统标定的方法能够准确定位反射镜的位置。该设计系统的测量范围为20 mm，测量精度为10μm，能够满足一定精度的测量要求。

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