作者：于佳音,崔新芳,练小正,乔英杰 单位：教育部科技发展中心 出版：《中国科技论文》2013年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKZX2013020140 DOC编号：DOCZKZX2013020149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对液浮陀螺仪悬浮液的应用环境，设计出Al/Al_2O_3/Cu测控温材料。采用阳极氧化的方法在草酸与冰乙酸组成的电解液中制备了阳极氧化膜绝缘层，并采用磁控溅射的方法制备了温度敏感层。利用扫描电镜、原子力显微镜和光学显微镜等研究了阳极氧化膜和铜膜的表面形貌，采用绝缘电阻测试仪测试阳极氧化膜的绝缘性能。结果表明，阳极氧化工艺对阳极氧化膜的绝缘性能以及热处理过程中的开裂行为都有一定影响。电流密度为1.0～1.5 A/dm~2，冰乙酸浓度为0.1～0.3 mol/L，阳极氧化时间在30～60 min条件下制备的氧化膜绝缘性能和抗开裂性能满足Al/Al_2O_3/Cu绝缘层要求。以该氧化膜为衬底制备铜膜刻蚀后可得到连续的电阻条。

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