作者：肖应超 单位：中国统计出版社 出版：《中国高新技术企业》2016年第35期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGGX2016350220 DOC编号：DOCZGGX2016350229 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • MEMS传感器是随着纳米技术的发展而兴起的新型传感器，具有很多新的特性，相对传统传感器其具有更大的优势。在追求微型化的当代，其具有良好的发展前景，必将受到各个国家越来越多的重视。文章首先介绍了MEMS传感器的分类和典型应用，然后着重对几个传感器进行了介绍，最后对MEMS传感器的发展趋势与发展前景进行了分析。

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