《双频激光干涉仪系统线性测量误差主要来源及减小误差的方法分析》PDF+DOC
作者:徐建
单位:成都市计量监督检定测试院
出版:《计量与测试技术》2013年第08期
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFJLYS2013080230
DOC编号:DOCJLYS2013080239
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双频激光干涉仪以激光波长为标准进行长度测量,在线性测长及角度测量等领域应用广泛,但不合理的使用将带来很大的测量误差,本文就测量误差的主要来源及如何有效减小误差进行分析研究。
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