作者：胡梦飞,杨露露,刘亚伟,谷永先,胡国俊,吕品 单位：中国机床工具工业协会;济南铸造锻压机械研究所 出版：《锻压装备与制造技术》2017年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDYJX2017040100 DOC编号：DOCDYJX2017040109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 根据已有的热式MEMS气体微流量传感器芯片的各部分热敏电阻热串扰现象严重，造成很大的测量误差，改进设计了一种MEMS热式流量传感器，将加热电阻和上下游测温电阻采用悬臂梁隔离结构，并相互隔离，有效的避免了热膜流量传感器各部分热敏电阻间相互热串扰现象。基于改进的MEMS热式流量传感器，设计了流量传感器的测试系统，包括恒温差电路、桥式测量电路及放大、滤波电路，所采集的流量信号经过滤波放大后输入AD模块进行模数转换，最后经过单片机处理，利用单片机与计算机串口通信功能，在不同流速下打印出不同的电压值；通过Matlab对所测出的数据进行拟合，完成对传感器性能的检测。测量结果表明：在一定的流量范围内，该流量传感器具有测量精度高、响应速率快、输出信号平滑等特点，能够广泛应用于工业、医疗领域的流量测量。

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