作者：陈明方,邹平,韩钢,侯伯民 单位：东北大学 出版：《东北大学学报(自然科学版)》2013年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDBDX2013060280 DOC编号：DOCDBDX2013060289 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在超精密加工中，需要亚微米乃至纳米级的定位，而常规的伺服电机驱动、精密滚珠丝杠传动方案的定位精度一般只能达到微米级.为提高数控进给装置的定位精度，在原有伺服进给定位装置的基础上，总结现有微定位补偿机构设计的不足，提出新的闭环伺服精密微位移补偿控制方案，以显著减小数控伺服进给装置的定位误差.设计的压电驱动微定位工作台具有纳米级位移分辨率和定位精度，静、动刚度好.试验表明，本系统设计的10μm行程微定位平台能很好地补偿数控滚珠丝杠副定位偏差，实现超精密加工的超精密进给要求。

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