作者：王文霞,王文廉 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2017年第04期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2017040040 DOC编号：DOCCGJS2017040049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 主要研究基于边缘电场传感器的位移测量方法，由于在测量位移时交叉指型传感器互导电容的变化具有周期性，因而可以实现大范围的位移测量。运用Ansoft Maxwell有限元仿真软件对边缘电场传感器的二维半波长模型进行了仿真分析，仿真结果表明当传感器工作区间内有物体移动时，会改变传感器的电场分布，使传感器互导电容发生周期变化。设计了一个简单的、低成本的调理电路，可以将电容变化转化为电压输出信号，得到边缘电场传感器输出电压与电容的关系。对电极尺寸为35 mm&#215；30 mm&#215；0.02 mm的边缘电场传感器进行了测量实验，实验结果与仿真结果吻合较好。

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