作者：平文,孔德义,单建华 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2017年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2017030010 DOC编号：DOCYBJS2017030019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 根据双端固支梁的谐振频率求解，以及方形膜片在压力下形变和应力的理论分析，设计了一个基于梁-膜结构硅谐振式压力传感器敏感结构的模型。对该模型进行ANSYS仿真，得到它在1个大气压下的总形变和应力分布，以及前六阶的振动模态。比较方形膜片和长方形膜片下敏感结构的仿真结果，得出相同面积下长方形膜片的灵敏度更高，检测时非线性误差更小。通过对不同厚度硅梁与硅膜下敏感结构的仿真，最终设定硅膜与硅梁的厚度分别为50μm和10μm。该传感器主要用于航空仪器仪表中对大气压的高精度检测。

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