作者：朱肃然,夏豪杰,刘芳芳,朱正恺,费业泰 单位：成都工具研究所 出版：《工具技术》2013年第08期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJJS2013080360 DOC编号：DOCGJJS2013080369 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微位移测量是目前热点研究领域，光纤布拉格光栅作为良好的传感元件，已被用于微位移测量领域。本文首先对布拉格光纤光栅传感的基本原理进行了分析，在此基础上设计制作了一种光纤光栅位移传感器。采用布拉格光纤光栅作为传感元件，利用自解调法进行波长解调，然后设计一整套传感系统，对微位移量进行了传感测量。利用激光干涉仪和PI微动平台对系统性能进行测试，实验结果显示传感系统分辨率达到50nm，系统回零重复性的误差26nm，系统的灵敏度为21mV/μm，最大非线性引用误差为2.45%。

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