作者：高杨,黄振华,蔡洵 单位：中国测试技术研究院 出版：《中国测试》2016年第11期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFSYCS2016110130 DOC编号：DOCSYCS2016110139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为解决由于FBAR的谐振频率处于射频频段，导致BAW传感器读出电路难以实现的问题，将FBAR振荡器作为六端口反射计射频源，以检测FBAR谐振频率，从而实现BAW传感器信号读出的新型读出电路。在ADS软件中，通过建立FBAR的MBVD模型并采用Pierce拓扑结构实现FBAR振荡器的仿真模型，以及建立六端口反射计的仿真模型，并结合两个仿真模型建立BAW传感器的最小系统模型。BAW传感器最小系统模型的仿真结果表明：由FBAR振荡器和六端口反射计实现BAW传感器读出电路的可行性。为实验验证该结构，搭建一个基于微带六端口网络实物的六端口反射计实验装置，准确地测得1个案例FBAR振荡器的振荡频率为1.5 GHz，该振荡频率就是传感器表头中FBAR的谐振频率。

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