作者：揣荣岩,关若飞,张晓民 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2017年第10期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2017100040 DOC编号：DOCYBJS2017100049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微机电系统(MEMS)表面微加工技术与IC工艺相兼容，利用该技术可以实现对压力传感器敏感结构尺寸的精确控制，并可用于提高传感器的过载能力。基于有限元仿真，通过应力分布的线性静力分析和非线性接触分析，确定压力传感器感压膜尺寸与过载能力之间的关系，给出了一种提高压力传感器过载能力的方法。在不增加工艺步骤和生产成本的前提下，优化了敏感结构的尺寸，使压力传感器的过载能力得到显著提高。

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