作者：赵正平 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2013年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2013060020 DOC编号：DOCBDTQ2013060029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微电子机械系统(MEMS)技术是半导体微电子学的创新，利用Si基集成电路的平面工艺从两维加工向三维加工发展，开创了MEMS新的领域。综述并分析了与信息产业以及移动网络相关的MEMS主流产品(加速度计、陀螺仪、微麦克风、数字微镜器件(DMD)、喷墨头和RF MEMS)的技术发展现状和趋势，同时预测了MEMS新兴产品(光滤波器、微小电子鼻、微扬声器、微超声器、微能量采集器和纳机电系统(NEMS))的科研现状和面临的技术挑战。从当前世界MEMS技术发展的特点(系统集成、与CMOS工艺结合走向标准加工、纳米制造与微米、纳米融合和多应用领域扩展)出发，结合国内MEMS技术发展的现状，提出我国MEMS技术发展的建议。

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