作者： 单位：北京信息科技大学 出版：《传感器世界》2013年第06期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGSJ2013060220 DOC编号：DOCCGSJ2013060229 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 新型Mercury1500V数字输出编码器是用于真空设备最小的高性能数字输出编码器。达到1E-8torr，传感器通气，是由适于真空的材料制成，可以持续48h，1500C预热除气。Mercury1500V直接从传感器输出A-夸德-B及零位视窗数字输出。所有的电子设备都安装在一个高8.4mm的盒子中。这种传感器的Z向高度很低，使M1500V编码器成为半导体加工设备中运动平台设计的理想设备。电子显微镜及其他需要真空的设备也受

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