作者:张敏亮,谭晓兰,王峰 单位:南京机械工程学会;南京机电产业(集团)有限公司 出版:《机械制造与自动化》2013年第01期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFZZHD2013010080 DOC编号:DOCZZHD2013010089 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《压电微悬臂梁的制作及其基频的研究》PDF+DOC2017年第06期 张程浩,陈若愚,董世杰 《Ansys在PZT压电薄膜微传感器压电分析中的应用》PDF+DOC2005年第07期 娄利飞,杨银堂,张军琴,李跃进 《不锈钢基压电厚膜微悬臂梁传感器的制作与测试》PDF+DOC2019年第07期 周鹏,王大志,石鹏,赵奎鹏,姜重阳,王柱 《高g值加速度传感器研究》PDF+DOC1996年第02期 张亚,李科杰,马宝华 《压电冲击和振动加速度表的工作特性》PDF+DOC1983年第04期 张福学 《多次压电效应对压电力传感器静态特性的影响》PDF+DOC2009年第03期 张忠华,孙宝元,钱敏,张军,石银辉,周喜 《PVDF压电传感器在模型化爆中的应用》PDF+DOC2009年第12期 张向阳,徐景茂,陈安敏,顾雷雨 《硅基PZT压电薄膜微传感器的结构设计和实验研究》PDF+DOC2007年第05期 娄利飞,杨银堂,李跃进,张萍 《无铅铁电/压电薄膜材料的研究进展》PDF+DOC2007年第01期 郑学军 《测量压电式微压传感器灵敏度的新方法》PDF+DOC2006年第02期 王丽坤,朱同淑,李书相,李光,张福学
  • 当压力作用在ZnO压电薄膜微悬臂梁上时,产生电荷量的大小将直接决定压电传感器灵敏度的高低。根据等效截面法,推导了复合微悬臂梁所受的作用力与其产生电荷量的关系方程,为传感器标定和力的测量提供理论依据,并依据此转换方程,对压电微悬臂梁的结构尺寸进行比较分析,以提高传感器的灵敏度和分辨率。此研究为压电微悬臂梁压力传感器的结构优化设计提供了一定的参考。

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