作者:廖荣,李蓓,张振杰,李宇威 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》2017年第09期 页数:3页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ2017090090 DOC编号:DOCCGQJ2017090099 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《新型聚酰亚胺电容式湿度传感器》PDF+DOC1992年第01期 邹德恕,王东凤 《硅基/聚酰亚胺湿度敏感元件研究》PDF+DOC2005年第06期 万灵,温殿忠,白续铎,唐祺,肖艳玲 《基于PI湿敏薄膜的分布式光纤Bragg光栅湿度传感器》PDF+DOC2011年第11期 周怡妃,梁大开,曾捷,刘宏月,孙晓明 《聚酰亚胺(PI)薄膜用于光纤布拉格光栅湿度传感器的特性分析》PDF+DOC 金永君,李海宝,刘辉 《一种新型高灵敏度光学微环湿度传感器》PDF+DOC2014年第08期 郭士亮,胡春海,李欣,王文娟,李志全 《基于Nafion的石英晶体微天平低湿传感器》PDF+DOC2017年第01期 冉青,陈向东,陈欣鹏 《湿度传感器的应用研究》PDF+DOC 王金宝,谷文,张珽 《一种电容型高分子湿度传咸器研究》PDF+DOC1997年第05期 孙承松,周立军,李云鹏 《高分子湿敏材料》PDF+DOC2003年第03期 李艳辉,黄玉东,刘宇艳 《CMOS工艺制备聚酰亚胺电容型湿度传感器及其性能》PDF+DOC2009年第12期 崔千红,杨子健,韦波,杨建红
  • 将聚酰亚胺(PI)薄膜制作在金属氧化物半导体场效应管(MOSFET)的栅极上,当环境湿度发生变化时,将引起PI吸湿量的变化,电容量改变,据此可制成湿度传感器件,测试结果显示:该湿度传感器具有明显的湿度敏感特性。

    提示:百度云已更名为百度网盘(百度盘),天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。