《聚酰亚胺MOSFET湿度传感器研究》PDF+DOC
作者:廖荣,李蓓,张振杰,李宇威
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2017年第09期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2017090090
DOC编号:DOCCGQJ2017090099
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将聚酰亚胺(PI)薄膜制作在金属氧化物半导体场效应管(MOSFET)的栅极上,当环境湿度发生变化时,将引起PI吸湿量的变化,电容量改变,据此可制成湿度传感器件,测试结果显示:该湿度传感器具有明显的湿度敏感特性。
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