作者：仝杰,贾雅娜,张薇,王兴隆,王诗月,王文 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2017年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2017050070 DOC编号：DOCYDSG2017050079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《新型表面波电流传感器优化设计》PDF+DOC2017年第05期 仝杰,张薇,王兴隆,王诗月,贾雅娜,王文 《用于电流传感的声表面波磁致伸缩效应》PDF+DOC2019年第04期 贾雅娜,王文,薛蓄峰,汪承灏,周庆莉,李鹤 《基于磁致伸缩效应的声表面波电流传感器敏感机理分析》PDF+DOC2017年第09期 贾雅娜,王文 《新型声表面波电流传感器》PDF+DOC2018年第01期 王文,贾雅娜,刘鑫璐,薛蓄峰,梁勇 《微波延迟线用大功率ZnO薄膜换能器》PDF+DOC1988年第01期 杨龙其,王宗富 《SAW化学战剂传感器的研究进展》PDF+DOC2008年第09期 赵以贵,刘明,牛洁斌 《磁光薄膜电流传感器》PDF+DOC2002年第01期 苏永道 《导电聚合物薄膜声表面波传感器敏感特性研究》PDF+DOC2007年第02期 于海燕,谢光忠,吴志明,蒋亚东,杜晓松 《硅PN结基底TiO_2氧传感器的特性研究》PDF+DOC2006年第S2期 张辉军,穆长生,王璐 《基于声表面波技术的高压开关柜温度监测系统》PDF+DOC2014年第02期 胡建学,赵俊,何利松,贝伟斌,林毅

    • 该文设计制作了一种基于磁致伸缩效应的声表面波(SAW)电流传感器，采用了磁致伸缩铁钴合金(FeCo)薄膜，并对其性能进行实验研究。传感器采用双通道300 MHz声表面波延迟线型振荡器结构，以128&#176；YXLiNbO_3为压电基片，在其表面覆盖与其温度系数极性相反的SiO_2薄膜来改善器件温度稳定性，并在声传播路径上溅射FeCo薄膜用以感知电流量。在电流产生磁场作用下，FeCo薄膜发生磁致伸缩应变，导致声传播速度的变化，进而以振荡器频率信号的改变来表征待测电流。该文通过对不同FeCo膜厚及不同FeCo薄膜长宽比的传感器进行实验分析，以获得优化的传感功能结构。实验结果表明，在优化的FeCo薄膜厚度(500nm)和长宽比(2∶1)条件下，所研制的声表面波电流传感器的灵敏度为12.375kHz/A。

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