作者：陈雪,王纯子,黄凯,康俊勇 单位：厦门大学 出版：《厦门大学学报(自然科学版)》2013年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXDZK2013020050 DOC编号：DOCXDZK2013020059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 采用真空蒸发的方法制备了掺杂原子比为3%、5%和9%的La掺杂和Dy掺杂的ZnO薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)谱和X射线光电子能谱(XPS)表征了所制得的ZnO薄膜的特性.发现所有薄膜都沿C轴取向优先生长.在对ZnO薄膜气敏特性的测量中，在低温条件下掺杂ZnO薄膜的电阻比非掺杂ZnO薄膜的小，且对乙醇和丙酮的灵敏度显著增强，且其中Dy掺杂的ZnO薄膜的气敏特性较La掺杂的ZnO薄膜为高.而空气中暴露9个月后的薄膜的气敏特性表明掺杂ZnO薄膜具有很好的稳定性.同时讨论了气敏传感机制和掺杂行为对薄膜灵敏度的影响。

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