作者：王玲 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2013年第12期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2013120130 DOC编号：DOCBDTQ2013120139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 技术实验室芯片技术新进展大多数微流体装置都采用硅气动阀控制液体样品。但是，气动阀需要配置噪声较大的压缩机和复杂的空气通道系统，其对于实验室芯片实际应用而言过于笨重。压电材料加电后形状会有所改变，可作为替代品，但是与压缩空气技术相比压电材料并

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