作者：孙霞,张骋,蒋丹宇,冯涛,徐权,夏金锋 单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所;中国材料研究学会 出版：《功能材料与器件学报》2013年第02期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGNCQ2013020090 DOC编号：DOCGNCQ2013020099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文首先简要介绍了常用的测定高纯气体中氧气含量方法的工作原理、应用、优点以及局限性，如比色法，黄磷发光法，原电池法，浓差电池法，光纤法，气相色谱法等。随后重点针对氧化锆在高纯气体测氧中的应用现状和进展进行了总结，归纳了氧化锆微氧测氧仪存在的问题和今后发展的重点。

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