《基于平面线圈线阵的直线时栅位移传感器》PDF+DOC
作者:武亮,彭东林,鲁进,汤其富,陈锡侯
单位:中国仪器仪表学会
出版:《仪器仪表学报》2017年第01期
页数:8页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYQXB2017010110
DOC编号:DOCYQXB2017010119
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针对现有磁场式直线时栅位移传感器行波磁场产生过程中,齿槽的存在影响行波磁场的匀速性,提出基于平面线圈线阵的直线时栅位移传感器。无齿槽的结构形式提高了行波磁场的匀速性,可实现大极距下的高精度测量。传感器将施加正交信号的两相励磁线圈相间排列形成平面线圈线阵,产生的行波磁场通过磁场拾取线圈感应出电行波信号,处理后得到位移量。通过电磁场分析软件对传感器进行建模仿真,根据仿真结果得到测量误差;通过理论分析对测量误差进行分析溯源,并根据分析结果对传感器结构进行优化。基于分析和优化结果研制出传感器样机,并进行了精度实验。实验表明,传感器在240 mm内测量精度为±;1μm,实现了精密测量。
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