作者：姚东媛,夏航,王俊巍,谢胜秋 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2017年第08期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2017080190 DOC编号：DOCCGQJ2017080199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 介绍了硅-蓝宝石绝压传感器中氧化铝陶瓷-钛合金的真空密封参考腔小型化结构设计，探讨了异质材料不匹配引起的陶瓷断裂问题，对陶瓷-钛合金封装结构的应力情况进行了计算和分析，通过中间缓冲层设计、减小陶瓷承受的结构残余应力，消除了由陶瓷断裂导致的密封失效；选择热胀系数相近的可伐中间层材料，对比不同厚度缓冲层产生的残余应力，优化中间层结构，采用LTCC加工技术与真空钎焊工艺结合制作了陶瓷-可伐-钛合金密封组件，并通过了高、低温度试验考核：组件密封漏率小于1&#215；10~(-10)Pa&#183；m~3/s，密封可靠，满足绝压传感器使用寿命的要求。

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