作者：伍国柱,谭秋林,唐顺,魏坦勇,熊继军 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2017年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2017010090 DOC编号：DOCCGJS2017010099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 提出一种新型的基于基片集成波导和消失模谐振腔的压力传感结构。设计了圆形空腔，当施加外界压力时，圆形空腔发生形变从而使谐振腔谐振频率变化。采用共面波导线对谐振腔进行耦合馈电并将频率信号传输出来。通过读取传感器的回波损耗参数(S11)来表征压力与频率的关系。利用高频仿真软件HFSS对谐振腔进行了仿真设计和优化，设计尺寸为30 mm&#215；30 mm&#215；1.93 mm，与传统谐振腔相比体积明显减小。传感器基底为Rogers 4003C板材，采用PCB技术进行加工。搭建压力测试平台对传感器进行测试，结果表明在0~3 N的压力范围内变化100 MHz，绝对灵敏度为25 MHz/N。仿真和实测结果比较吻合，验证了所设计压力结构的有效性。

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