作者：江兴 单位：中国电子科技集团公司第五十五研究所 出版：《》 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDXX2013010470 DOC编号：DOCBDXX2013010479 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • MEMS产品早在1980年就已经存在了，与使用了CMOS工艺的一般半导体相比，因为晶圆制成非常复杂，包装也很耗功夫，使得工程标准化和低成本变得十分困难，所以只应用于有限的用途。但是，最近确定了批量生产小型、高性能的MEMS产品的技术，除了汽车发动机控制、医疗器械、喷墨打印机这些常用

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