作者：刘德盟,吴淼,梅年松,张钊锋 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2013年第01期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2013010130 DOC编号：DOCBDTQ2013010139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 植入式眼压检测微系统是一种植入到眼内进行眼内压连续检测并通过电磁波传输到体外的微系统。根据该系统近些年的研究进展对该系统进行综述，介绍了该系统常采用的LC振荡结构和SoC结构的原理和发展历程，并对其主要技术指标和制作工艺以及存在问题进行论述；结合生物电磁效应、MEMS技术和集成电路技术等，综合分析了SoC系统的天线、电路系统和压力传感器等关键技术的发展现状、存在的问题和突破方向；对生物兼容性材料和植入位置等应用层面进行总结和展望；最后根据对该系统存在问题的总结，对该系统的发展趋势进行展望。

    📙 相关资料

    1. 《MEMS传感器研究现状与发展趋势》PDF+DOC 微型化、集成化及智能化是当今科学技术的主要发展方向。随着微机电系统(Micro Electro Mechanical System，MEMS)和微加工技术的发展，微型传感器也随之迅速发展。介绍了MEMS传感器概念及种类，并对其研究现状、应用领域进行了分析总结和介绍。最后，对MEMS传感器的一些发展趋......
    2. 《微机电系统(MEMS)技术及在引信中的应用》PDF+DOC 对微机电系统技术的现状及其发展进行了介绍，并探讨了微机电系统技术在引信中的应用...
    3. 《微机电系统(MEMS)产品及其促进市场化途径的研究》PDF+DOC 通过介绍微机电系统(MEMS)技术及其主导产品的性能特点，针对现状，为促进我国MEMS产品商业化占领市场，作者提出了包括应用风险投资等市场手段和市场运行机制的五条途径，详细分析了这些途径的特点，并进一步分析了国内外MEMS产品的市场前景。...
    4. 《生物医学测量及控制技术新进展》PDF+DOC 介绍生物医学测量及控制技术领域中的一些研究进展。...
    5. 《微机电系统磁流体压力微传感器》PDF+DOC 由于磁流体具有磁性，如果在磁场作用下力的平衡发生变化，会因磁流体的流动而产生压力。将这种现象用到微系统中，可以获得1~1 000 mbar数量级的压力值。在试验装置中，用压阻式压力传感器得到了40 mbar的压力。试验结果表明，磁流体和微系统的结合具有很大的潜能，为其应用于新的场合提供了研究基础。...
    6. 《正在起飞的MEMS技术》PDF+DOC 过去的两年中，以微机电系统(MEMS)和微光机电系统(MOEMS)为基础的技术开始走出实验室，除了早期为航空、汽车工业生产的各种MEMS传感器，以及导管等其他可植入医疗器件外，已在其他一些领域找到商业应用，最著名的例子就是光学开关和DNA测序。其结果是引起了关注微观世界的新浪潮。 一些咨询部门估计，......
    7. 《集成微机械传感器的最新进展》PDF+DOC 微机电系统(MEMS)的迅速发展改变了设计者观察硅基微机械部件的方法。将这些结构同调整和处理电路、校准存储、与外界接口等结合起来的种种努力，现已到了收获季节。集成更多的片上功能已获得部分成功，显示这种想法的商业可行性。有趣的是，一些设计者已在致力于下一代集成硅传感器，使最新...
    8. 《用于蒙皮外表面空气流测量的MEMS微型压力传感器》PDF+DOC 为实现飞行器蒙皮外表面空气流的分布式压力检测，设计了基于微机电系统(MEMS)技术的光学压力微型传感器。传感器敏感元件主体结构采用单晶硅的法布里帕罗标准具，并通过光纤与发光二极管和光电探测器等光学元件相连。确定了MEMS微型传感器的关键结构与尺寸，并对压力敏感膜片的变形及反射率等进行了理论计算和行为......
    9. 《用于恶劣环境的耐高温压力传感器(英文)》PDF+DOC 为了解决如高温200℃等恶劣环境下的压力测量问题，基于微机电系统(MEMS)和高能氧离子注入(SIMOX)技术，研制了一种量程为0～120kPa的压阻式压力传感器。该传感器芯片由硅基底、薄层二氧化硅、惠斯登电桥结构的硼离子注入层、氮化硅应力匹配层、钛-铂-金梁式引线层和由湿法刻蚀形成的空腔组成。在氧......
    10. 《特种微机电系统压力传感器》PDF+DOC 通过对微机电系统(Micro-electro-mechanical systems，MEMS)压力传感器设计方法与封装制作工艺问题的研究，针对不同应用环境下对压力传感器的性能、尺寸及封装要求，提出相应的传感器力学结构模型——微压结构、梁膜结构及倒杯结构，通过相应的FEM有限元建模方法对传感器结构进行......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。