作者：孙月,曹悦,郑尧,刘豫,衣云骥,张大明 单位：教育部科技发展中心 出版：《中国科技论文》2017年第14期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKZX2017140090 DOC编号：DOCZKZX2017140099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计了基于聚合物材料与无机材料三维混合集成的马赫增德尔(M-Z)光波导传感器，从结构和材料方面提升器件性能。分析器件结构两臂的光波导模式特性，采用有效折射率法得出传感精度曲线，优化波导尺寸为2μm&#215；2μm(长&#215；宽)，使其传感精度相比平面结构提升2~3倍，光束传播法模拟光场分布，模拟传感长度差为100~3 000μm时的器件输出曲线。利用多材料混合集成，通过温度控制器件的传感区间，可解决精度退化问题。

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