作者：崔廷,沈小燕,林杰俊,李东升 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2013年第09期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2013090090 DOC编号：DOCYBJS2013090099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 根据差压式气动测量原理，设计了一种微纳米级气动传感器，并通过硬件电路设计、软件系统开发研制了智能型非接触式气动测微仪。通过软件调零及误差补偿技术，达到了气动传感器非接触线性测量的目的。结果表明：气动传感器分辨力0.2μm，线性度2%，回程误差0.7%，灵敏度0.65 kPa/μm；仪器在0～80μm的测量范围内最大示值误差为0.3 m，回程误差为0.25μm.该智能型测微仪在一定程度上能应用在高精度微纳米检测场合中。

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