作者：张岩,尚瑛琦,王晓光,刘智辉 单位：中国民营科技促进会 出版：《中国新技术新产品》2013年第12期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXPJX2013120270 DOC编号：DOCXPJX2013120279 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文主要研究了加速度传感器芯片的湿法加工技术，主要包括KOH腐蚀中凸角补偿图形设计，引线电极保护技术，TMAH腐蚀技术等内容。本文设计了合理的凸角补偿图形，能够制作出完整的凸角结构。本文结合实际工艺中遇到的问题，讨论了湿法加工技术中引线电极的保护方法，包括TMAH腐蚀技术的应用。制作出的加速度传感器芯片灵敏度大于0.1mV/g，非线性优于1%，横向灵敏度比小于3%。

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